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等離子體反應(yīng)區(qū)富含極高的物質(zhì)，如高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較高能量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到講解污染物的目的。與傳統(tǒng)的電暈放電形勢產(chǎn)生的低溫等離子技術(shù)相比較，等離子體技術(shù)放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統(tǒng)低溫等離子體技術(shù)治理工業(yè)廢氣以失敗而告終的原因。
低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體產(chǎn)品利用螺旋波低溫冷光技術(shù)產(chǎn)生的高能離子束和電子束形成的低溫等離子體，以每秒800萬次-5000萬次的速度反復(fù)轟擊異味氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發(fā)生氧化等一系列的化學(xué)反應(yīng)。等離子處理廢氣的原理如下：
1. 等離子通電后會(huì)形成一個(gè)1.5萬伏的高壓電場，廢氣在進(jìn)入的時(shí)候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子。
2. 氧氣O2被電離成O- （游離態(tài)的氧原子），因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡，所以需要與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧O3。
3. 廢氣電子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O
低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運(yùn)行。）
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