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電子級(jí)高純氣體管路介紹

電子、光電子和生物制藥等行業(yè)對(duì)傳輸敏感或腐蝕性介質(zhì)的高純、潔凈管道系統(tǒng)一般都采用光亮退火(BA)、酸洗或鈍化(AP)、電解拋光(EP)及真空二次溶解(VIM+VAR)產(chǎn)品。


A.電解拋光(Electro-Polished)簡稱EP。通過電化學(xué)拋光,可以極大地提高表面形態(tài)及結(jié)構(gòu),使表層實(shí)際面積得到的減少。表面是一層封閉的、厚厚的氧化鉻膜,能量接近合金的正常水平,同時(shí)介質(zhì)數(shù)量也會(huì)降為少--通常適用于電子級(jí)高純氣體。


B.光亮退火(Bright Annealing)簡稱BA。在加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚?,一方面?nèi)部應(yīng)力,另一方面在管道表面形成一層鈍化膜,以改善形態(tài)結(jié)構(gòu),減少能量水平,但不會(huì)提高表面粗糙度--通常適用于GN2,CDA,以及非工藝的惰性氣體。


C.酸洗或鈍化(Pickled & Passivated/Chemically Polished)簡稱AP和CP。管道經(jīng)過酸洗或鈍化,不會(huì)提高表面粗糙度,但可去除表面殘存的顆粒,降低能量水平,但不會(huì)減少介層數(shù)量--通常使用于工業(yè)級(jí)管道。


D.真空二次溶解潔凈管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)簡稱V+V,為住友金屬專利產(chǎn)品,經(jīng)過真空狀態(tài)下電弧條件下再次處理,有效提高了耐腐蝕性及表面粗糙度--通常適用在腐蝕性較強(qiáng)之高純電子級(jí)氣體上,如:BCL3,WF6,CL2,HBr等